PHENOM XL

Le MEB de table PHENOM XL repousse les limites en matière de technologie MEB compacte. D’une part, le XL utilise les technologies innovantes des autres systèmes PHENOM.

D’autre part, cet appareil est équipé d’une chambre d’analyse qui permet d’insérer des échantillons allant jusqu’à 100 mm x 100 mm. Un système unique de mise sous vide/chargement d’échantillon garantit le délai le plus court entre le chargement de l’échantillon et l’obtention de l’image MEB. En combinaison avec une nouvelle platine mobile selon 2 axes (X-Y), compacte et motorisée, il est possible de charger jusqu’à 48 échantillons en même temps pour des applications à flux élevé, après quoi, l’ensemble des échantillons peut être scanné. Un détecteur SE optionnel est également disponible.

  • Le MEB de table le plus polyvalent pour les applications à flux élevé ou l’analyse d’échantillons jusqu’à 100 mm x 100 mm
  • Avec analyseur EDS intégré pour l’identification chimique des éléments
  • Plage de grossissement de 3 x à 100 000 x