Le MEB de table PHENOM ProX est le système ultime tout-en-un d’imagerie et d’analyse par rayonnements X. Le ProX permet d’étudier en même temps la structure physique de l’échantillon et d’en déterminer la composition chimique grâce à son détecteur EDS spécifique.
L’EDS est une technique qui utilise les rayonnements X générés par un faisceau d’électrons sur un échantillon. L’analyse d’éléments EDS est entièrement intégrée au PHENOM ProX et combinée en un seul module avec le détecteur de rayonnements X et le logiciel de commande.
Le logiciel d’identification d’éléments (EID) peut être utilisé pour l’analyse d’un ou de plusieurs zones afin d’identifier les éventuelles contaminations sur un échantillon. En outre, les performances de ce logiciel peuvent être étendues au moyen d’un logiciel de cartographie d’éléments ou de balayage pour l’identification des éléments.
- Le MEB de table le plus polyvalent avec analyseur EDS intégré pour l’identification chimique des éléments
- Plage de grossissement de 20 x à 350 000 x
- Résolution < 8 nm (BSED) et < 6 nm (SED)
- Tension d’accélération : 5kV, 10kV et 15kV
- Modes vide poussé et vide dégradé
- Facilité d’utilisation grâce aux réglages automatiques